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114-分科測驗-物理-單選題-25
中等
在半導體製程中需要有曝光機(光源),將光罩上的線路圖形縮小投影成像到晶圓上。已知常用的光源波長有紫外光(UV)436 nm、365 nm,深紫外光(DUV)248 nm、193 nm及極紫外光(EUV)13.5 nm。某半導體公司在研發半導體製程中,曾在晶圓與光源間注入純水,利用波長193 nm曝光機在晶圓上製得比使用乾式157 nm曝光機更小的線路線寬。 光在單位面積單位時間內通過的能量值稱為光的強度。光在水中傳播時,其強度 III 會隨傳播距離 zzz 的增加而衰減,關係式為 I=I0e−αzI=I_0e^{-\alpha z}I=I0​e−αz,其中 α\alphaα 為衰減係數、I0I_0I0​ 為起始強度、eee 為自然常數(近似值2.7,其倒數 e−1≈0.37e^{-1}\approx0.37e−1≈0.37)。圖10是水的吸收光譜,橫軸為光源的原始波長,縱軸為光在水中的衰減係數。圖10中橫軸與縱軸為對數坐標,坐標軸上刻度的位置是由坐標軸刻度數值取以10為底的對數值而定。 圖10 綜上所述,回答下列問題。 有關在晶圓與光源間注入純水的做法,下列不同波長的光源,何者較不適用?(單選,3分)
統計數據
答對率: 54 %鑑別度: 23 %高分組答對率: 66 %低分組答對率: 43 %
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